（通用）飞秒激光刻蚀机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 光镊
购置日期 : 2025-01-21
规格型号 : LMF20
[ 分类信息 ]
设备类型 : 10样品制备与加工
设备编号 : 2025583002
[ 联系信息 ]
联系人 : 薄志山, 刘玉强
存放地址 : Array负一层
联系电话 : 15606136271
联系邮箱 : Yqliu@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
主机、CCD相机
主要功能及特色 :
可以实现切割、划线、蚀刻、钻孔及样品微纳结构加工等多种加工应用场景。
主要规格及技术指标 :
"1.激光器
1.1 中心波长：1035±5nm
1.2平均功率：＞25w
1.3频率：25k-40Mhz可调，支持单脉冲。
1.4 脉宽：＜350fs且350fs~10ps电脑软件任意可调。
1.5 Burst脉冲串：1-10个子脉冲（子脉冲间隔25ns）
1.6 功率稳定性：＜1%
1.7单脉冲能量：≥70µJ，脉冲串能量：≥190µJ
1.8 光束质量：M2＜1.2
1.9 发散角：＜2mrad
1.10光斑圆度：＞95%
1.11光斑直径：3±0.5mm
1.12输出光斑偏振：线偏振光，振动方向为水平方向，偏振比例1000：1。"
