（专用）三英寸脉冲激光与磁控溅射复合系统
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 安徽外延科技有限公司
购置日期 : 2024-02-14
规格型号 : ET-PLS-CS3
[ 分类信息 ]
设备类型 : 10样品制备与加工
设备编号 : 2024279601
[ 联系信息 ]
联系人 : 李山东, 张世鹏
存放地址 : Array203
联系电话 : 15376728350
联系邮箱 : 15376728350@163.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
1.二轴样品台 2.SiC涂覆石墨加热器 3.红外测温仪 4.2个2英寸标准磁控靶枪 5.500W射频电源 6.4个三轴PLD靶枪 7.共有四路气体入口，其中2路0-100sccm 8. 腔体水冷降温 9. 控制软件
主要功能及特色 :
1.软件控制自转和直线运动，保证PLD制备薄膜在3英寸范围内均匀生长；配备红外测温仪监测衬底正面温度。2.2英寸标准磁控靶枪，配备500W射频电源一台；3.配备4个1英寸靶枪，PLD靶枪放置于腔体正下方。保证激光在靶材上均匀扫描，Z轴运动能够防止磁控污染PLD靶材；4.腔体采用CF150差分快开门，实现两级真空差分，降低快开门处漏率，进一步提高密封性。
主要规格及技术指标 :
1.二轴运动：自转，转速0-20rpm可调，Z轴直线运动，行程±20mm；2.加热温度范围：0-850℃，PID控温，精度±1 ℃；5.加热有效均匀温区3inch,样品表面温度均匀性±5 ℃,可以在100kPa高氧压下长期使用
