"1.ZEM18台式钨灯丝扫描电子显微镜主机1：主机含专业软件，电子光学系统（高压源、电子枪、磁透镜），内置涡轮分子泵真空系统，样品仓
2.二次电子探测器 1
3.背散射探测器 1
4.光学导航 1
5.计算机处理及图像显示系统 1
6.前级泵 1
7.预对中钨灯丝（5根） 1
8.工具包 1
9.国产喷金仪 1"

能够观察材料的微观结构分析，包括形貌、成分衬度； 扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过电子束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的

"1.加速电压：3kV-18kV可调；
2.电子枪类型：预对中钨灯丝（可自行更换），一体式聚光镜设计；
3.放大倍数：≥150000X；
4.分辨率：≤6nm；
5.探测器种类：二次电子探测器和四分割背散射电子探测器；
6.电动样品台：XY行程≥30mm X 30mm；
7.样品室尺寸：直径≥50mm、高度≥35mm；
8.高真空模式：全自动控制，抽真空时间≤2min；
9.真空系统：内置涡轮分子泵、外置前级泵，样品仓真空度优于：4×10-3Pa；
10.视频模式：像素≥512×512，无需小窗口扫描
11.快扫模式：成像时间≤3s，像素≥512×512；
12.慢扫模式：成像时间≤40s，2048×2048像素；
13.图像格式：BMP，TIFF，JPEG，PNG等；
14.自动功能：亮度对比度一键自动调整、自动聚焦；
15.导航功能：光学相机导航（非电子图像导航）；
16.图像测量功能：包含距离、角度等；
17.拓展功能：可拓展原位功能样品台；
18.减速模式：无需喷金即可观察非导体或导电性较差的样品；
19.喷金仪：设置记忆功能，同类样品无需更改设置；软硬件互锁，防止误操作；镀层均匀，导电良好"