（专用）高精度半自动紫外光刻机（定制）
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 中国科学院光电技术研究所
购置日期 : 2024-03-05
规格型号 : URE-2000/34AL
[ 分类信息 ]
设备类型 : 10样品制备与加工
设备编号 : 2024055401
[ 联系信息 ]
联系人 : 李山东
存放地址 : Array203
联系电话 : 15376728350
联系邮箱 : 15376728350@163.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
1.曝光光学系统 2.对准显微镜 3.工件台 4.电控系统 5.单片机系统 6.视频图像系统
主要功能及特色 :
定制化背光套刻功能，适用于双晶透明衬底套刻加工；定制单镜成像功能，适用于小片、碎片加工；光刻精度高，线分辨率高，曝光分辨率达0.7μm
主要规格及技术指标 :
1.曝光分辨率≤0.8 um;2.曝光能量密度: >35 mW/cm²可调;3.照度不均匀性: ≤2.5%(φ150mm 范围);4.曝光面积: 160 mm﹡160 mm
