[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 日立
购置日期 : 2020-09-27
规格型号 : AFM5100N
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 20210501aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 于冰, 胡浩, 王秋博
存放地址 : Array200D
联系电话 : 15053265875
联系邮箱 : yubingqdu@163.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
1、 主机1套
2、 控制器 1套
3、 自检测系统1套
4、 显微镜1套
5、 桌面被动减震台1套
6、 高分辨扫描器1套
主要功能及特色 :
可实现四通道同时最高2048×2048高像素采集，两通道同时最高4096×4096高像素采集。
具备图形叠加功能：实现形貌图像和物理性能图像的叠加，并可控制两种图像在叠加图像中所占的比例。
主要规格及技术指标 :
扫描器：标准型扫描器 扫描范围XY：20μm，Z：1.5μm
分辨能力：形貌分辨能力 XY：0.2nm, Z： 0.01nm
样品台：样品最大尺寸为：φ35mm×10mm (H) 。
使用自感应探针方式检测，无激光探测系统，无需调节激光光斑；
轻敲模式下，驱动探针振动的频率范围为1K~999K；
扫描旋转 ±180o （0.1o 步进）
样品移动：XY方向，手动，移动范围±2.5mm
Z方向，自动，移动范围10mm
低相干型半导体激光器，波长: 830 nm.
