（通用）半导体参数分析仪
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国比弗顿
制造厂商 : Tektronix，Inc.
购置日期 : 2022-05-22
规格型号 : 4200A-SCS
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 20221179aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 王新胜, 赵珍
存放地址 : Array314
联系电话 : 18201034796
联系邮箱 : wangxsh@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
中等功率SMU单元、前端放大器、测试夹具盒、晶体管测试仪、EDA设计软件
主要功能及特色 :
该半导体参数分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、器件的电容工艺参数和脉冲电流-电压参数测试，为对基础器件进行研究提供了必要的测量手段。
主要规格及技术指标 :
电压源范围：±210V；电压源输出最小分辨率：5μV
电流源范围：±100mA；电流源输出最小分辨率：1.5fA
电压测量：0.2μV-200V；电流测量：10aA-100mA；
电流测量最小分辨率：0.01fA；电流测量精度：±（1%读数+10fA）
