（专用）白光干涉三维形貌仪
[ 基础信息 ]
生产国家 : 德国
制造厂商 : 德国
购置日期 : 2022-05-17
规格型号 : SmartWLI-Compact
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 2022152900
[ 联系信息 ]
联系人 : 刘银华, 黄光浩
存放地址 : Array未来研究院一楼
联系电话 : 19511616822
联系邮箱 : liuyinhua@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
测量头、样品台、干涉物镜
主要功能及特色 :
测量精度在纳米级，采集数据速度快，测量时间短，非接触式，对被测样品无损伤，同时测量和分析手段先进，可应用于材料表面形貌观察分析、轮廓测量、微纳结构测量、材料磨损分析、表面缺陷分析等多个方向和领域，对于教学和研究都能起到很大的推进作用。
主要规格及技术指标 :
提供10x放大倍数干涉物镜，数值孔径NA=0.30，工作距离7.4mm，视场范围≥1800um×1130um，像素大小0.93um，横向分辨率(道斯判据) 0.9um；
