（通用）磁控溅射镀膜机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 沈科仪
购置日期 : 2020-03-25
规格型号 : TRP450
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 20214133aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 张波, 胡希丽, 史文路
存放地址 : Array806
联系电话 : 15064203833
联系邮箱 : huxili@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
配套耙材：5N 铜耙材 1000 克，5N 铝耙材 1000 克，4N5 钛耙材 1000 克。
主要功能及特色 :
可用于金属薄膜、介质膜等的制备。
主要规格及技术指标 :
主要由溅射真空室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、加热系统、直流电源、射频电源、
工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成
