（通用）真空等离子表面处理系统
[ 基础信息 ]
生产国家 : 德国
制造厂商 : Diener
购置日期 : 2020-05-06
规格型号 : Nano
[ 分类信息 ]
设备类型 : 3表面分析
设备编号 : 20212132aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 张光耀, 张宪胜
存放地址 : Array807
联系电话 : 17805422816
联系邮箱 : xshzhang@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
主机NANO
真空泵ORV16
压力传感器
强制进气阀
橡胶真空管
主要功能及特色 :
反应舱材质为铝制腔体（一体成型）无污染。
腔体尺寸（宽x高x深）:240mmx240mmx600mm
腔体体机：36L
主要规格及技术指标 :
反应舱材质为铝制腔体（一体成型）无污染。
腔体尺寸（宽x高x深）:240mmx240mmx600mm
腔体体机：36L
