设备配置：
设备配置概述：主机一套，包括：快速毛细管取样
系统：石英毛细管；真空系统：60 L/s 涡轮分子泵
一套、5m
3/h 涡旋泵一套，真空显示和控制单元；离
子源: 电子轰击离子源；分析器：HAL 201 RC 四极
质谱器；检测器：法拉第杯/电子增倍器；操作软件：
操作软件可对数据进行收集、显示、分析，控制四
极杆的参数。常规气体定性定量分析和谱图检索等
功能。
备件：取样毛细管内管，1 根；铂分子漏孔，1 个；
离子源灯丝工具包：1 对离子源灯丝；
设备配置具体描述：快速毛细管取样系统:内置石英
毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，可弯曲；加热温
度至 200℃，2m 长 300ms 内对于气体浓度的变化做
出反应；取样管流量：1～20sccm，可调节；取样压
力：100mbar～2bar；

在线质谱仪可执行催化反应、吸附／脱附、 TPD、TPR、TPO、TPRx 等过程的在线气体分析，可以 与化学吸附仪、热重分析仪等仪器联机使用，进行 逸出气体的在线检测，分析快速、灵敏，操作方便， 性能稳定；组成：该仪器包括取样系统、真空系统、 四极杆（四极质谱仪）、数据处理单元等部分。工 作条件：交流稳压电源 220V；温度 5～40℃；湿度 20%～80% R.H，并且无冷凝；电源安全接地；防火、 防尘、防静电；

技术指标： 质量数范围：1～200amu； 气体取样系统： 内置石英毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，可弯曲； 加热温度≥200℃，2m 长；300ms 内对于气体浓度的 变化做出反应；取样管流量：1～20sccm，可调节； 取样压力：100mbar～2bar，自适应；取样响应时间： ≤150ms/m 毛细管；进样系统无隔离阀，不能采用外 部加热套的加热方式。 真空系统： 60L/S 涡轮分子泵一套、5m3/h 涡旋泵一套（独立的 旁路管路设计）； 检测极限：0.1ppm～1ppm； 测量通道：>200 个， MID 模式；最小扫描步阶：0.01amu；快速扫描速度： 100amu/s；最快数据采集速度：500 点/秒； 最小检测分压：法拉第杯检测器 1×10-10mbar;电子 倍增器 5×10-14mbar；压力显示：具有真空计在仪器 外部显示质谱仪工作压力；外部信号接口：可将温 度（需转换为模拟信号）等接入质谱仪并在软件上 显示； 软离子化技术：离子源可改变电离电压 0～150eV； 离子源：电子轰击离子源，铱灯丝； 操作软件：可以实时记录、显示实验过程和实验参 数；可控制和显示四极杆参数；定量数据分析：自 动将测量浓度与参考气体进行对比、评估；所有数 据总和与 100%水平对比。计算包括相对灵敏度和气 体的校正参数；矩阵倒置算法：质谱数据反褶积进 行精确地浓度分析；多窗口操作界面；具有动态数 台 1 是
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据交换能力；
离子源控制：电子能量扫描：0～150eV；
离子源离子能量扫描：0～10eV；
发射电流扫描：20µA～2mA；
与计算机连接方式：RS232，网线，USB；信噪比高，
仪器稳定性好，噪声水平低和基线稳定性好。
2 个同步的质谱仪信号输入设备；自动的原子质量测
量校正；通过 TTL 触发器自动获得数据；用户可自
己编程设计实验模式。