（通用）纳米力学测试仪
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : 美国牛津仪器有限公司
购置日期 : 2020-05-12
规格型号 : MFP—3D Origin
[ 分类信息 ]
设备类型 : 5性能分析
设备编号 : 20202150aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 温峥
存放地址 : Array405
联系电话 : 15165229688
联系邮箱 : 15165229688@qq.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
1.高性能防震平台,隔绝外部振动,保证系统正常工作
该附件是保证MF3D- Origin正常工作的标配
2.隔音罩,隔绝声音以及气流影响,保证实验精度(国
3.导电模块,能够进行纳米导电成像以及I-V曲线测
试。测试精度1pA,測试范围:1pA-20nA
主要功能及特色 :
FP-3D-0 rigin是一款具有低噪音,高精度的闭环控制
納米力子测试仪。独特的三轴分离式扫描器r3
D- origin主要技术指标:探针反馈噪音小于
Opm(ADev,0.1-1kHz);Z方向扫描范围大于5pm,闭环
噪音小于0.25m(ADev,0.1-1Hz);:X,Y方向扫描范围
120um,闭环噪音小于0.6nm(ADev,0.1-1kHz)。最大可
观测直径80mm,厚度10m的样
主要规格及技术指标 :
1)水平方向的电一力耦合测试范围120um,竖直方向
15um
2)测试器闭环扫描噪音:水平噪音≤0.6m,竖直噪音≤
25nm
3)系统测试高度噪音≤60pm
4)具有以下功能和测试模式信号的共振增强,测试相位和振幅的双频追踪模式,样品表面电荷、电势空间分布测试,电力耦合测试,磁力概し测试,电信号测试功能,电流分辦率达到
5)开放的样品台,X,Y方向最大可容纳样品直径≥
80mm,Z方向最大可容纳样品厚度≥10mn
6)操作软件源代码开放,适合二次开发,并具备纳米刻
蚀和纳米操纵功能
