（专用）电子束蒸发镀膜机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 韩国
制造厂商 : 真空
购置日期 : 2019-10-18
规格型号 : KVE-E4000
[ 分类信息 ]
设备类型 : 10样品制备与加工
设备编号 : 20204547aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 张光耀, 胡希丽
存放地址 : Array806
联系电话 : 15064203833
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
主机 1 套、
冷水机 1 台、5N 铜耙材 1000 克，5N 铝耙材 1000 克，4N5 钛耙材 1000 克。
主要功能及特色 :
5）电子束靶枪电源最高功率：6KW @ 10kV max
6）厚度控制模块频率分辨率：0.03Hz，测量间隔：0.1 秒，晶体起始频率： 5或6兆赫。
7）真空泵组，分子泵抽速：1100 L/sec，机械泵抽速：: 670ℓ/min(@60Hz),550ℓ/min(@50Hz)
8）真空测量模块：760 torr~5x10-10torr
9）控制系统：PC 控制。
薄膜均匀性单片≤±3%
主要规格及技术指标 :
1）沉积材料: 金属，氧化物沉积 (Ni, Ti, Al, Au, Pt,and SiO2, ITO, TiO2等）
2）腔体：304 不锈钢材质，最大样品尺寸:6 英寸，样品台温度不超过 60 度，产量 : 1 片/次 (6 英 寸)
3）极限真空 : <7.0×10-7Torr
4）六袋电子束靶枪，单袋容量 7cc，偏转角度 270˚
