无

◆曝光面积: 150mmx 150mm
◆分辨力: 0.8-1μm (胶厚2μm的正胶)
◆对准精度: 0.6μm
◆掩模样片整体运动范围: X : 6mm;Y:6mm
◆掩模尺寸: 3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆样片尺寸:直径15mm-- 150mm ;厚度0.1mm--8mm
◆照明均匀性:3.5%(100mm范围);5%(150mm范围)
◆掩模相对于样片运动行程: X: 5mm; Y: 5mm;: 6度
◆最大胶厚: 500m(SU8胶,用户提供匀胶条件)
◆光源平行性: 3.5
◆灯功率: 1000W (直流)
◆曝光设定方式:定时(倒计时方式0.1s-999.9s任意设定)
◆外形尺寸:1400mm(长) 1200mm(宽) 2150mm(高)

(1 )曝光头
冷光椭球镜
1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
XYZ汞灯调节台
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1
准直镜镜2、蝇眼透镜组( 100个透镜). i线滤光片
场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
冷却风扇
循环水冷系统
(2)对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
样片调焦机构,自动调
承片台4个( 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)
掩模夹4个( 3英寸、4英寸、5英寸、 7英寸)
基片抽拉式上下机构.
(3)对准显微镜
◆光源(配备品2只).电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对(10倍、16倍、 20倍,共6个)
◆物镜3对(4倍、10倍、 20倍,共6个)
(4) CCD对准系统
◆光源(配备品3只)、电源
◆成像光学系统
◆数据采集卡
+CCD
(5 )电控系统
汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜貞
◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)