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金属、非金属、纤维等各类样品的微观形貌分析
分辨率:高真空(二次电子3.0 nm at 30kv,8.0nm at 3kv);低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV;放大倍数:2.5 to 100000×;真空系统:高真空<9*10-3Pa;加速电压0.2kV to 30Kv;电子束电流1pA—2uA;样品室内部尺寸:230mm(width)×148mm(depth);样品台:全自动控制。