[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 日立
购置日期 : 2017-11-01
规格型号 : MC1000
[ 分类信息 ]
设备类型 : 9样品前处理设备
设备编号 : 20212115aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 王宗花, 夏建飞
存放地址 : Array扫描电镜制样室
联系电话 : 15064803099
联系邮箱 : xiajianfei@126.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
Pt靶
主要功能及特色 :
混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。 采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件，可处理较厚或较大的样品(选配件)，记忆功能可存储常用加工条件，采用磁控型电极，最大限度地减轻对样品的损坏。
主要规格及技术指标 :
1、样品仓大小：硼硅酸盐玻璃工作腔室，150mm （内径）x 125mm （髙）
2、靶面至样品台距离：可调范围为20-50mm
3、溅射电流：0-40mA
4、溅射时间：0~999s
5、溅射速率：（在压力为7Pa,放电电流40mA,靶材距离样品30mm时）Pt为15nm/min,Pt-Pd 为 20nm/min, Au为35nm/min, Au-Pd为25nm/min
6、最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm
