微聚焦单色化X射线光源，光电子分析器系统，超高真空分析室及样品准备室，真空泵系统及辅助实现测试功能的可移动样品台，仪器控制及数据处理系统组成。

X 射线光电子能谱仪不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息。它在分析电子材料时，不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。应用于与固体材料表面分析相关的基础科学和应用科学的各个学科领域，例如高分子材料、微电子材料、金属材料和化工与催化材料等传统研究领域；一些新兴前沿学科，例如：纳米材料、环境材料、生物医学材料、新能源材料等领域。

仪器具备XPS、UPS、XPI、ISS、REELS、深度剖析等分析功能，分析室极限真空优于5×10-10mbar，能量分辨率优于0.43eV，能量扫描范围0~5000eV；通过能范围1~400eV连续可调等。