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将大视野光学CCD图像和SEM图像完美结合～
直到高倍率观察的顺利操作！
光学CCD图像和SEM图像的完美结合和无缝操作使工作效率大大提高
①关键点1 Zeromag
从样品座图形和CCD图像上可以寻找视野和分析位置。寻找视野非常轻松， 多视野连续分析的位置也很容易。

②关键点2 实时分析 (仅限于A/LA)
在图像观察过程中，进行EDS分析。
EDS谱图显示在观察窗口中， 如果给感兴趣的元素加上alert ，会更容易发现。

③关键点3 数据集中管理软件
数据的查看、再分析以及从SEM图像到EDS分析的全部数据报告可以一键生成。用数据管理图标或者从测试结束的数据列表中启动数据管理窗口并选择数据，一键就能生成报告。

分辨率 高真空模式3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
低真空模式*4.0 nm (30 kV BED)
图像倍率×5～×300,000
（以128 mm × 96 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）
显示倍率×14～×839,724
显示器上的图像倍率（以358 mm × 269 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）
电子枪
钨灯丝 电子枪完全自动合轴
加速电压：0.3kV～30kV
低真空压力设定范围※10～650Pa
物镜光阑３档  带有ＸＹ微调功能
自动功能
灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整
最大样品尺寸
200 mm直径×75 mm高度
200 mm直径×80 mm高度※选配件
32 mm直径×90 mm高度 ※选配件
样品台
大型中式
X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm
倾斜：－10～90° 旋转：360°
图像无缝拼接功能
标配
显示测试位置座标
直径203 mm
标准菜谱
有（包括EDS条件 ※2）
图像模式
二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等
获取图像的像素数
640x480 1,280x960
2,560x1920 5,120x3,840
Microsoft®Windows®10 64bit
显示器23寸触摸屏
EDS 功能*2
谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等
测长功能
有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等）
数据管理功能
SMILE VIEW™ Lab
生成报告功能
SMILE VIEW™ Lab
语言切换
可以在UI 上（日语/ 英语）
抽真空系统
完全自动 TMP：1 台、RP：1台或2台