[ 基础信息 ]
生产国家 : 英国
制造厂商 : 英国HHV LTD公司
购置日期 : 2017-04-23
规格型号 : HHV AUTO500
[ 分类信息 ]
设备类型 : 10样品制备与加工
设备编号 : 20201071aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 张军, 郑威
存放地址 : Array115
联系电话 : 17852028909
联系邮箱 : jun@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
1：真空及控制系统：配备400L/s涡轮分子泵的系统平台
2：真空腔室：不锈钢胡FL400型水冷真空腔体
3：电子束蒸发源：HHV EB3型片状角270°的e型电子枪
4：工艺气体控制：一路氧气，NFC控制，数字显示自动控制
5：蒸发源遮挡版
6： 基本架：水冷式基本架
7：膜厚测量仪：配置inficon SQC-310型石英晶振镀膜工艺控制仪
主要功能及特色 :
AUTO500是一套多功能真空镀膜系统，主要用于科学研究、技术开发或试生产。其真空腔体采用了前开门胡箱室设计，可以容纳大尺寸样品。
真空腔室安装在内部装载有真空泵系统的基座上。PLC显示
系统操作面板以及其他工艺附件都集中安装在真空腔室旁
边的19寸控制柜上，操作十分方便
主要规格及技术指标 :
规格型号： AUTO500
1：真空及控制系统：配备400L/s涡轮分子泵的系统平台
2：真空腔室：不锈钢胡FL400型水冷真空腔体
3：电子束蒸发源：HHV EB3型片状角270°的e型电子枪
4：工艺气体控制：一路氧气，NFC控制，数字显示自动控制
5：蒸发源遮挡版
6： 基本架：水冷式基本架
7：膜厚测量仪：配置inficon SQC-310型石英晶振镀膜工艺控制仪
