[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : ULVAC-PHI
购置日期 : 2021-03-26
规格型号 : PHI5000 Versaprobe III
[ 分类信息 ]
设备类型 : 1成分分析, 3表面分析
设备编号 : 20201062aa
[ 联系信息 ]
联系人 : 刘雪华, 王超, 技术支持, 高柳
存放地址 : Array213
联系电话 : 18561888101
联系邮箱 : wangc@qdu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
Mg/Zr双阳极，扫描俄歇附件（AES），冷热样品台，
原位气体反应装置，紫外电子源（UPS）等
主要功能及特色 :
各种固体材料，及膜材料的元素组成，价态及化学环境分析
主要规格及技术指标 :
能量分辨率对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）优于0.48 eV;
成像分辨率可达10 μm;X射线聚焦束斑直径10 μm至400 μm
配有双束中和系统
