EDS能谱
"1、可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。
2、具备超高分辨扫描图像观察能力,尤其是采用最新数字化图像处理技术,提供高倍数、高分辨扫描图像。
3、X射线能量散射谱可定量定性分析样品元素。
4、元素分布像,用于显示元素二维分布,适合膜样品截面,析出相,纳米粒子组装等。
"1、分辨率:
二次电子:
高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V 低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
环境真空模式 1.4nm @ 30kV
背散射电子:
高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
扫描透射STEM探测器:
0.8nm @ 30kV
2、加速电压 200V ~ 30kV, 连续可调
3、高稳定性Schottky场发射电子枪
4、最大束流 200nA
5、样品室压力最高达4000Pa
6、样品台移动范围
Quanta 250 FEG: X=Y=50mm
Quanta 450 FEG: X=Y=100mm
Quanta 650 FEG: X=Y=150mm