扫描电子显微镜、真空泵、离子溅射仪、计算机控制系统和相关应用软件
利用电子和物质的相互作用,获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。
1**、分辨率:5nm
2**、放大倍率:30x~100,000x
3**、加速电压:5kV to 30kV
4、图像:二次电子图像
5**、电子枪系统:钨灯丝
8、载物台系统:5轴操控
X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°
Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
9、图像位移:X, Y Image Shift (100㎛)
10**、样品最大尺寸:80mm in diameter, 35mm in height
11、图像扫描模式:四种
快速扫描 (Fast Scan)、低速扫描 (Slow Scan)
图片模式1(Photo Mode 1)、图片模式2(Photo Mode 2)
12、自动功能:自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
13、图像存储格式:BMP, JPEG, PNG
14、数据显示:放大倍率、探测器类型、电压、真空模式、标尺等
15、真空系统:全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
16、操控系统:鼠标和键盘
17、运行系统:电镜专用笔记本电脑
18**、软件:图像文件打开,编辑,存储功能
长度,面积,角度等测量功能
设置数值初始化,图像拍摄模式转换等
19、设备环境:温度:15℃~30℃ 湿度:低于70%
20、电源:单项220V AC