[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 : 捷克电子产品有限公司
购置日期 : 2021-03-30
规格型号 : VEGA3
[ 分类信息 ]
设备类型 : 2微区分析, 4结构鉴定
设备编号 : 2016293300
[ 联系信息 ]
联系人 : 唐建国, 巩学忠
存放地址 : Array705
联系电话 : 13969690719
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金。
配件（标配）：
二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）
可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）,探针电流测量,压差式防碰撞报警装置,可观察样品室内部的红外线摄像头冷台等，各种附件可供选择
主要功能及特色 :
VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作
主要规格及技术指标 :
技术规格：
Electron Gun: 钨灯丝/LaB6
Resolution: 高真空（SE）： 3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV
8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV
低真空模式（LVSTD，BSE）：
3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV
Magnification: 2~1,000,000x
Accelerating Voltage: 从200 V 至 30 kV
